多功能等离子清洗仪日常维护清单与常见故障排查指南

更新时间：2025-09-04

点击次数：99

　　一、日常维护清单

　　真空系统维护

　　真空泵油位检查：每日观察油位视窗，油位接近红线时补充至红标线上下区间；油质浑浊或真空泵噪音异常时立即更换。

　　管路密封检查：每周检查真空泵与腔体尾部连接件、三通阀接口是否松动，发现松动及时拧紧。

　　真空泵散热：避免连续运行超过1小时，处理后关闭主电源，防止过热损坏。

　　腔体清洁

　　日常清洁：用无尘布蘸酒精或丙酮轻轻擦拭腔体内壁，避免污染物积累影响等离子体均匀性。

　　深度清洁：每月使用精密粉状清洁剂（如Alconox）清洁腔体，若污染物无法去除，需更换新腔体。

　　电极与喷嘴检查

　　磨损检查：每月检查电极是否有积碳或磨损，长期使用后需翻新维护以保证清洗稳定性。

　　喷嘴清理：定期清理喷嘴积碳，防止等离子体生成受阻。

　　气体供应系统

　　气瓶压力检查：每日确认气体是否开启且未耗尽，检查减压表、气路电磁阀及流量计是否正常工作。

　　气路密封性：每月检查气体管路是否老化或漏气，及时更换密封圈。

　　二、常见故障排查

　　真空度异常

　　故障现象：真空泵热过载保护启动或真空度无法达到设定值。

　　排查步骤：

　　检查真空泵油位及油质，必要时更换泵油。

　　检查真空腔门是否关紧，传感器及线路是否正常。

　　逐级排查真空系统中各连接点，确认无管道连接不良或损坏。

　　等离子体不生成或密度低

　　故障现象：无法产生等离子体或等离子体密度不足。

　　排查步骤：

　　检查射频源输出信号、射频电缆及匹配网络，维修故障点。

　　确认气源压力正常，压力阀及真空阀无堵塞。

　　检查腔壁是否污染，必要时进行深度清洁。

　　设备过热

　　故障现象：设备内部温度过高，保护机制启动自动关闭。

　　排查步骤：

　　检查冷却系统是否正常工作，清理风机过滤器。