台式扫描电镜（SEM）是材料、生物、电子等领域进行微观形貌观察的常用精密仪器，相比落地式 SEM 操作更简洁，核心操作围绕样品制备、开机调试、观察成像、关机整理展开，操作需遵循无尘、轻操作原则，避免损伤镜筒和探测器，全程做好防静电、防震动防护，以下为标准化简易操作流程，适配常规微观形貌观察需求。
样品制备与装样为基础步骤，需根据样品特性处理：导电样品可直接用导电胶固定在样品台中心，非导电样品（如塑料、陶瓷、生物样品）需先进行喷金 / 喷碳处理，保证导电性能；样品高度需低于样品台限位，避免碰撞镜筒，装样时用镊子轻取轻放，拧紧样品台固定螺丝后，将样品台放入样品室，关闭样品室门并确保密封，防止真空泄漏。
开机与抽真空需按流程操作，先打开设备总电源、电脑工作站及真空泵开关，进入 SEM 操作软件，点击 “抽真空” 按钮，依次完成样品室低真空、高真空抽取，真空度需达到仪器标定值（通常高真空模式需＜1×10⁻³Pa），待真空数值稳定后再进行后续操作，抽真空过程中禁止打开样品室门，若出现真空报警，需排查样品室密封情况。
成像观察与参数调节是核心操作，真空达标后，在软件界面选择电子枪模式（通常为低电压模式适配台式机），逐步调节加速电压（5-15kV 为宜）、束流大小，点击 “光斑校准” 完成电子束对中，随后通过样品台控制按钮调节 X/Y 轴平移、Z 轴升降，找到观察区域，先以低倍镜（50-200 倍）聚焦，再逐步提高放大倍数（最高可达数万倍），配合调节亮度、对比度、焦距及光阑，直至获得清晰、无拖影的微观形貌图像；观察中可通过软件实现图像抓拍、视频录制，保存为常用格式。
关机与整理需规范收尾，先将放大倍数调至低倍，关闭电子束输出，点击 “放气” 按钮，待样品室恢复常压后，打开样品室门，用镊子取出样品台，清理样品台残留导电胶和杂质，做好清洁。随后在软件中关闭真空泵，等待泵体停止运行后，依次关闭电脑工作站、设备总电源，整理操作台面，记录仪器运行状态和使用情况。
操作注意事项：严禁在真空状态下操作样品台；非导电样品未喷金禁止高倍观察，防止电荷积累影响成像；仪器运行时避免周边剧烈震动、强电磁干扰，定期清洁样品室和镜筒外部，由专业人员进行内部维护和校准。
更新时间：2026-01-19
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