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多功能等离子清洗仪

产品简介

等离子清洗仪是一种利用等离子体进行表面处理的精密设备。其核心原理是在真空或特定气氛下,通过射频电源激发气体产生高能活性粒子,与材料表面的有机污染物发生物理轰击和化学反应,将其分解为气态产物并抽离,实现原子级别的“干式"清洁。该设备全程无需化学溶剂,处理过程绿色环保。

产品型号:MIPC1000
更新时间:2026-07-29
厂商性质:生产厂家
访问量:2143
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  MIPC1000多功能等离子清洗仪,专门针对SEM/TEM等各类表面/微观分析设备开发,能够有效去除样品/样品杆表面污染物,防止碳沉积带来图像分辨率降低及对样品微区成分分析造成误判,同时可改善样品表面亲水性。该系统配备7英寸超大清洗样品杆,同时清洗多个样品,利用快旋头设计,可满足SEM/FIB/EPMA/SIMS/XPS/TEM等各类真空腔体清洗,提升仪器分析准确性。
 
  MIPC1000多功能等离子清洗仪最多可配备四路气体进气系统,搭配高精度质量流量计(MFC),可实现任意比例气体混合,从而实现不同工艺气体清洗需求。通过配备的7英寸触屏控制系统,能够实现清洗配方的建立和存储,可实现一键完成样品清洗。 Downstream过滤电场能够过滤传统等离子体中离子/电子成分,仅利用低能自由基进行清洗,能够去除溅射损伤、热效应及刻蚀效应对样品微观结构和成分的破坏。满足各类真空设备样品/样品舱清洗,同时可对电镜光阑、各类真空部件进行清洗,满足各种清洗需求。
 
  技术优势
 
  ◆ 多功能:具备在线腔体清洗和独立清洗功能;
 
  ◆ 高效性:ICP诱导激发,清洗范围广;
 
  ◆ 超高真空清洗:<5mTor ~ 2Tor ;
 
  ◆ 清洗功率范围大:0-100W ;
 
  ◆ 清洗柔和:Downstream设计,无溅射效应,  无热效应;
 
  ◆ 可同时清洗/存储两根透射电镜样品杆;
 
  ◆ 扩展性好:采用快旋头,等离子发生器,可轻松对各类真空腔体进行清洗;
 
  ◆ 超大清洗样品舱:直径7英寸X7英寸高;
 
  ◆ 能够碳膜清洗,增加增加碳膜亲水性;
 
  ◆ 触屏控制:7英寸触屏,配方式操作。
 
  主要应用
 
  ◆ FIB/SEM/TEM/Nano Probe
 
  ◆ XPS/GC/SIMS
 
  ◆ Synchrotron Radiation
 
  ◆ 各类真空腔体清洗
 
  ◆ 各类分析设备样品清洗
 
多功能等离子清洗仪
MCA实机图
 
多功能等离子清洗仪
碳膜清洗夹具
 
 

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